◆可適用于6寸、8寸或1 2寸晶圓蝕刻后去膠制程的清洗作業(yè)。

◆工作節(jié)拍: 20-30min。

◆配置11套清洗、干燥腔體。 .

◆可靠的專用工作液體快排裝置，保證高效的工藝切換。

◆內(nèi)置組合式工裝自動(dòng)輸送裝置，保證復(fù)合工藝要求及較高的

生產(chǎn)效率。

◆4套清洗藥液獨(dú)立控制裝置。

◆化學(xué)液回收儲(chǔ)存裝置。

◆藥液流量[敏感詞]控制系統(tǒng)。

◆N2溫風(fēng)干燥系統(tǒng)。

◆高效空氣凈化及進(jìn)排氣裝置。

◆[敏感詞]的清洗效果。

◆自動(dòng)滅火裝置。