※人機界面、PLC控制系統。

※多組單機械臂.上下采用氣缸提升橫移先進馬達置于機體外面安全可靠。

※水系型清洗機、DI水、IPA清洗干燥。

※間接式導熱油加熱方式，全自動IPA檢測，滅火裝置。

※機架及全封閉外罩HEPA高效空氣過濾器，防止二次污染。

※采用多種清洗頻率清洗設備: 40KHz、 80KHz、100KHz、 125KHz。

※采用新型超聲波三頻技術.

※全封閉外罩，排抽氣系統。